TỔNG
QUAN
Tài liệu này
nghiên cứu tính chất và đặc tính điện của
vật liệu và thiết bị bán dẫn. Mà bán dẫn lại
là chất rắn. Do đó tính chất điện của
chất rắn được quan tâm hàng đầu. Bán dẫn
nói chung là vật liệu đơn tinh thể. Tính chất
điện của vật liệu đơn tinh thể
không chỉ phụ thuộc vào thành phần hóa học mà còn
phụ thuộc vào sự sắp xếp của các nguyên tử
trong chất rắn; do đó, cần có một sự tìm hiểu
ngắn gọn về cấu trúc tinh thể của chất
rắn. Sự hình thành hoặc phát triển của vật
liệu đơn tinh thể là một phần quan trọng
của kĩ thuật bán dẫn. Một thảo luận ngắn
về một vài kĩ thuật nuôi tinh thể được
đưa vào trong chương này để cung cấp cho
người đọc một số thuật ngữ mô tả
cấu trúc thiết bị bán dẫn. Chương nhập
môn này cung cấp những kiến thức nền tảng về
vật liệu đơn tinh thể và sự hình thành của
tinh thể để cho người đọc có thể
hiểu về tính chất điện của vật liệu
và thiết bị bán dẫn.
1.1|
VẬT LIỆU BÁN DẪN
Bán dẫn là một
nhóm vật liệu có tính dẫn điện nằm trung
gian giữa kim loại và chất cách điện. Hai loại
bán dẫn chung nhất là vật liệu bán dẫn cơ bản
nằm ở nhóm IV của bảng tuần hoàn, và vật liệu
bán dẫn hợp chất, đa số chúng được
hình thành do sự kết hợp đặc biệt của
những nguyên tố nhóm III và nhóm V. Bảng 1.1 biễu diễn
một phần của bảng tuần hoàn trong đó có những
bán dẫn phổ biến và bảng 1.2 liệt kê một
vài vật liệu bán dẫn. ( Bán dẫn cũng có thể
được hình thành từ sự kết hợp của
những nguyên tố nhóm II và VI, nhưng nói chung những vật
liệu này không được xét trong tài liệu này.)
Những bán dẫn cơ bản là những
bán dẫn mà trong thành phần cấu trúc của nó chỉ
có một loại nguyên tử là silic hoặc germany. Hiện
nay silic là bán dẫn phổ biến nhất được
dùng trong mạch tích hợp và sẽ được nhắc
đến thường xuyên trong tài liệu này.
Những hợp chất hai nguyên tố chẳng
hạn như GaAs hoặc GaP được hình thành bằng
sự kết hợp của những nguyên tố nhóm III và
V. GaAs là một trong những bán dẫn hợp chất phổ
biến hơn cả. Tính chất quang học tốt của
nó làm cho nó hữu dụng trong những thiết bị quang
học. GaAs cũng được dùng trong những ứng
dụng đặc biệt chẳng hạn như những
ứng dụng đòi hỏi vận tốc cao.
Bên cạnh đó cũng có những bán dẫn
hợp chất 3 nguyên tố. Một ví dụ là AlxGa1–xAs,
trong đó chỉ số dưới x chỉ định phần
của nguyên tố có số nguyên tử nhỏ hơn. Những
chất bán dẫn phức tạp hơn cũng có thể
được hình thành cung cấp sự đa dạng khi
chọn tính chất vật liệu.